本文標題："電子顯微鏡的試樣制備都有哪些類型-光學分析"
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電子顯微鏡的試樣制備都有哪些類型-光學分析
透射電子顯微鏡的試樣制備
(1) 超顯微顆粒試樣( 需采用支持膜支承):主要用于形貌觀
察、顆粒度測定和結(jié)構(gòu)分析等。
(2) 表面復(fù)型膜: 這是把欲觀察試樣的表面形貌用適宜的材
料( 如火棉膠、碳膜等) 復(fù)制下來作為試樣。復(fù)型膜只能研究表
面形貌( 顯微組織、斷口、摩擦表面等) ，不能研究試樣的成分
和結(jié)構(gòu)。
(3) 薄膜: 將欲測試樣采用各種方法( 機械法、化學法、電
化學法和離子轟擊法等) 減薄到電子
束能穿透的厚度，一般金屬膜厚度為100 ^-200nm,薄膜試樣
除了可以進行形貌、成分、結(jié)構(gòu)的靜態(tài)分析外，還可作動態(tài)( 相
變、形變、位錯運動等) 的觀察和分析。
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