本文標題："集成電路檢測分析用的立體顯微鏡制造廠商及型號"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-6-2 5:11:33

集成電路檢測分析用的立體顯微鏡制造廠商及型號

然而，利用入射光時，為了易于暗場照明.必須利用配備有環狀聚光鏡的物鏡或利

用包含與光路中心相一致的暗場光闌的物鏡。因此，暗場照明要求專用于暗場顯微術

的專用物鏡(前面提到的Leitz WetzlarTM L 50 X /0. 60 NA DF屬于暗場物鏡，DF表

示暗場)。

要討論的最后一項技術楚干涉反差照明技術。干涉反差照明的專用形式是諾馬

爾斯基(Nomarski )差動干涉反差照明(DIC)。這項技術十分受集成電路分析入員歡

迎，因為利用這項技術時很細微的細節都變得非常明顯。有時，它也會表現出表面凸

起。同暗場照明一樣，干涉反差照明需要特殊的顯微鏈設備和轉換器，用于構成每臺

顯微鏡的專用裝置都委托顯微鏡制造完成。

集成電路故障分析技術顯微鏡制造廠

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