本文標題："從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-8-19 22:4:54

從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器

電子束器件測試電子束探針能用來進行半導體元件的某些

特殊電學測試，并且從原理上來說優越于機械探針，因為它可使機

械損傷減至最小，而且探針的大小可以做得非常小.它的一個缺

點是電子束能裂解試樣上面氣氛中的真空泵油，使得在半導體表

面沉積了一層薄的碳膜(這樣電子束信號的診釋可能是困難的）

因此不能獲得足夠多的數據來全面地表征元件的性能.

可以使用兩種不同的操作方式.第一種是被測元件通過常規

的接觸與互連方法被偏置，而元件表面任何選定點的二次電子發

射被用來估計該點的相對電壓.

第二種是在元件上只作一個外連接線，而將電子束本身作為另一個連接線.

然后從固定的接觸點上測量電流.當檢測非常復雜的電路時，第一種方式是

特別吸引人的，因為它能從電壓襯度發現失效點

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