本文標題："被測對象類型的不同，要選取不同的照明方案"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2016-7-3 17:50:35

被測對象類型的不同，要選取不同的照明方案

依據被測對象類型的不同，要選取不同的照明方案。在單色光

照明下基于相位探測的典型儀器可用于測量光學光滑表面。對于單

色條紋的分析將在相移干涉測量那一章探討。對于間斷點多、粗糙

程度高、高度大的測量對象要采用交替的照明方案和條紋分析。本

章主要探討單色照明系統下擴展測量范圍的技術，不過首先我們要

描述一下干涉物鏡的性質和給定物鏡條件下可測樣本的屬性。

(1)干涉物鏡與測量對象參數的匹配在使用光學輪廓儀時，要

為某一特定測量選擇干涉物鏡，首先需要確定樣本的一些參數，并

對其特性進行分解。要確定最小橫向特征、最大高度范圍、測量的

最大斜率及將要測量的區域。物鏡(加上中間的光學元件)的放大倍

數和CCD的尺寸決定了可測量區域的大小，物鏡的NA和照明類型決

定了測量對象的哪些特征可以被測到。下面討論的一些物鏡特性也

適用于共焦輪廓儀中使用的物鏡。

(2)橫向分辨力為了確定樣本的哪些橫向特征可以分辨，首

先要知道系統的橫向分辨力。基于顯微鏡系統的橫向分辨力主要取

決于顯微鏡物鏡的光學分辨力。只有在使用低放大倍數物鏡的系統

中，才會受限于探測器的采樣。光學分辨率依賴于波長和顯微鏡物

鏡的數值孔徑。

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