本文標(biāo)題："標(biāo)準(zhǔn)量塊的尺寸與被測孔尺寸之差-工具顯微鏡"
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標(biāo)準(zhǔn)量塊的尺寸與被測孔尺寸之差-工具顯微鏡
測量時，先根據(jù)被測孔的尺寸選用標(biāo)準(zhǔn)量塊。由于能形成白光
干涉的光程差極小，因此標(biāo)準(zhǔn)量塊的尺寸與被測孔尺寸之差，必須
在幾微米之內(nèi)。將選用的量塊與一對鍍銀平晶研合，形成標(biāo)準(zhǔn)具。
將標(biāo)準(zhǔn)具與被測工件一起置于工作臺的相應(yīng)位置上。首先將被測孔
移動到使測量用的棱鏡深入到被測孔的測量位置。調(diào)整干涉僅及工
作臺，使兩組條紋等距且對稱地分布在視場中棱錐脊線影像的兩邊
，讀取兩零級條紋頂點之間的刻度格數(shù)。退出被測孔，移動工作臺
，使棱鏡進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)具的測量位置。調(diào)整工作臺和安裝標(biāo)準(zhǔn)具的小工
作臺，使兩組白光干涉條紋再次出現(xiàn)在視場中。通過調(diào)整工作臺，
盡可能使出現(xiàn)的兩組條紋相互間的間距相等，相對棱脊的影像盡可
能對稱，并與棱脊影像平行。再次讀出兩條零次條紋間的刻度數(shù)，
兩組刻度數(shù)之差乘以格值即為孔徑相對于標(biāo)準(zhǔn)具尺寸之差。誤差的
方向不僅決定于干涉條紋的移動方向，而且還決定于棱鏡的角度是
大于還是小于90°棱鏡角度大于90°的情形，這時測量標(biāo)準(zhǔn)具，若
零級條紋的間距大于測孔時的相應(yīng)間距，則孔的直徑比標(biāo)準(zhǔn)具的尺
寸大。反之，比標(biāo)準(zhǔn)具的尺寸小。
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