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本文標題："使用掃描電流顯微鏡對氧化層進行量測"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-4-16 21:15:40

可經由微區的電特性量測來暸解氧化層內漏電流之傳導機制，進而分析其薄膜品質。然而上述方法仍屬于破壞性的量測方式，

于是我們利用統計電流分布的方式，計算掃描區域的穿隧電流(tunneling current)訊號分布之半高寬值(full-width at half-maximum，FWHM)，

藉FWHM值的變化來分析薄膜品質好壞。首先，掃描電流顯微鏡在零偏壓條件下對氧化層進行量測，

由電流分布統計得到初始FWHM值，從進行量測的過程中可知，當施予的偏壓產生微小變化，會明顯影響其穿隧電流的大小，

當逐漸增加偏壓會陸續得到其他電流分布的FWHM值，比較各組數據之間的差異，

當設定的偏壓增加至-5.0 V左右會造成FWHM值有較明顯的上升，其原因是較大的偏壓能提供較高的電場，

導致較大的穿隧電流從試片表面傳導出來，因而使得電流訊號分布增加，以致于FWHM值上升，

其原理為近代物理的量子穿隧(quantum tunneling)理論，掃描電流顯微鏡在進行量測時，

導電探針與試片會形成一微小的MOS (metal–oxide– semiconductor)結構，當施予高偏壓會使得氧化層的能障寬度變窄，

相當于氧化層厚度變薄，此時電子越過三角能障區域而產生F-N穿隧電流的機率便會增加。而根據F-N穿隧理論，若穿隧電流的大小為IFN，

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