本文標題："圖像與樣品SEM中的透鏡放大圖像而是用來會聚電子束"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-6-24 17:15:52

圖像與樣品SEM中的透鏡放大圖像而是用來會聚電子束

在SEM中電子束在樣品表面逐點掃描，并采用陰極射線管電子束和入射電

子束同步掃描模式收集各個點的信號，在顯示器上組成圖像。因此顯示的圖像是

入射電子束掃過樣品時所檢測到的信號強度的變化。SEM的最終性能受電子束

直徑的限制。SEM中的透鏡不是用來放大圖像而是用來會聚電子束。會聚透鏡

將電子束直徑從50μm聚合到約5nm.調節會聚透鏡使電子束以最小直徑照射樣

品，便可使圖像聚焦。放大倍率是通過顯示圖像與樣品被掃描區域間的簡單關

系計算得到的。

當入射電子束撞擊樣品表面弱束縛的傳導電子時，產生二次電子。由于

二次電子能量較低(<50eV)，僅僅距表面約10nm內的二次電子能夠逃離樣品表面

檢測信號強度依賴入射電子束和樣品的夾角。這兩個因素意味著二

次電子信號能夠提供最高分辨率的形貌信息。

與之不同的是背散射信號是由彈性散射電子產生的.彈性散射電子是由樣品

原子核在0°-180°范圍內反射回來的入射電子。其中散射角大于90°的電子仍然

具有高能量，能夠重新從樣品逸出。在相同的操作條件下，該信號比二次電子來

自更大的樣品體積，因此提供的表面形貌信息分辨率低于二次電子。不過，對于

原子量大的原子散射悄況更容易發生(或入射電子能量低)，因此通過背散射信

號能夠為非均相樣品定性地提供組成信息。

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