本文標題："掃描顯微鏡的工作原理簡介-上海光學儀器一廠"

發布者：yiyi ------ 分類: 技術文章 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-1-12 10:21:28

掃描探針顯微術的工作原理

掃描探針顯微術(Scanning Probe Microscopy:SPM)是近十幾年來，

因STM的發明，而蓬勃發展出來的一系列顯微技術的總稱。

這些顯微術都是利用一支微小探針，來偵測探針尖端與樣品表面之間的某些交互作用。

前面所提的STM是偵測穿隧電流。如是偵測接觸力(原子之間的排斥力)或凡得瓦引力

就稱原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)。偵測磁

力稱磁力顯微鏡(Magnetic Force Microscope:MFM)。偵測橫向力稱橫向力顯微鏡(Lateral Force Microscope;LFM)。

偵測電解液中的法拉第電流稱為掃描電化學顯微鏡(ScanningElectro chemical Microscope)。

在種類繁多的SPM中，最常用的兩種技術是STM及AFM。由于STM 量測的是探針與材料

表面原子之間的穿隧電流。因此樣品限定必須是導體。而AFM則對導體及非導體材料均可適用。所以它在材料科技方

面的應用特別的方便、重要和普遍。

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