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本文標題：" 掃描式電子顯微鏡最佳解析度已達0.6nm，具有景深長的特點"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-1-13 0:21:5

掃描式電子顯微鏡

掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)是奈米材料顯

微形貌觀察方面最主要、使用最廣泛普遍的分析儀器。其影像解析度極高，

目前最佳解析度已達0.6nm，并具有景深長的特點，可以清晰的觀察起伏程度較大的樣品。

如破斷面，儀器操作使用容易方便，試片制備簡易;多功能(如分析磁性對比);加裝附件，

并可作微區化學組成分析、陰極發光分析…等。所以，

SEM可說是一高性能又快速的檢測分析工具，使用量非常頻繁。

SEM產生電子束的裝置叫做電子qiang，傳統的熱游離電子qiangSEM之影像

最佳解析度為5.0nm。場發射電子qiang(Field Emission Gun)因可提供直徑極小、亮度極高，而且電流穩定的電子東。所以可以大幅提高影像解

析度，在30kV加速電壓下達1.2nm，在lkV下方可達到4.5nm。

如進一步將試片室(Sample Chamber)移至高激發物鏡內、即成In-lens型FEGSEM，它因大舉縮短工作距離，并將二次電子以外的雜訊幾乎全部去

除，所以能大幅提高解析度，在30kV下達0.6nm，在1KV下亦可達到3.5nm，這已快接近TEM的影像解析度了。

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